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  • 1400℃双温区管式炉

1400℃双温区管式炉

产品型号:GSL-1400X-Ⅱ-60-100 

安装尺寸:1350 L x 470 W x 750 H mm 

重量:约150Kg 

应用范围:GSL-1400X-Ⅱ-60-100是一款双温区高温管式炉,每个加热区长度12",由30段智能温度调采用硅碳棒作为加热元件,最高工作温度可达到1400℃。可通过调节两个温区的控温程序使炉管内温场形成一温度梯度,此系列管式炉可以用CVD或PVD方法来生长纳米材料和制作各种薄膜。

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产品简介 / Introduction

性能指标和基本配置

名称

1400℃小型双温区开启式管式炉GSL-1400X-Ⅱ-60-100

炉体结构

● 双层壳体结构,可使表面温度低于70℃
● 采用高纯氧化铝纤维做为炉膛材料,并且表面涂有氧化铝涂层(可提高加热效率和延长使用寿命)

基本参数

● 热偶:S型热偶
● 建议升温速率:1400℃以下≤10℃/min ;1400℃以上≤5℃/min
● 温度:1300℃ (1400℃<30min)
● 电源:AC380,50Hz
● 最大功率:6KW

炉管尺寸

● 材料:高纯刚玉管
● 直径φ60
● 可选购法兰支架

加热区

加热区长度:580mm (双温区:290mm+290mm)

加热元件

U型1500级硅碳棒

可选

● 1.法兰上标配安装的是Φ8的宝塔嘴接头
● 2.为了获得较好的抽气速率可以配用KF25的转接头
● 3.为了较好地向炉管中通入气体可以配用1/4"的不锈钢卡套接头
可选:您可以选购kf25真空口法兰
可选:您可以订购法兰支架

温控系统

● 包含一款YD518P型温度控制器
● PID自动控温系统
● 智能化30段可编程控制
● 控温精度:±1℃
● 两个温区分别有两个独立的温控系统控制
● 默认DB9 PC通信连接端口
● 可选购电脑温度控制软件(用于YD518P系列控制器)用于控制升温曲线和导出数据

外形尺寸

● 1350 L x 470 W x 750 H mm

净重

150Kg

质保期

● 一年保修,终身技术支持。
● 特别提示:1.耗材部分如加热元件,石英管,样品坩埚等不包含在内。
2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。

真空系统

● 通过机械泵可达到50mTorr
● 通过分子泵泵可达到10E-5 Torr
● 可选购一个冷真空阱,以避免真空泵造成污染

使用注意事项

● 炉管内气压不可高于0.02MPa
● 不要在氧化铝管中使用石墨坩埚
● 由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,建议在本公司选购减压阀,本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全
● 当炉体温度高于1500℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当,保持在常压状态
● 进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的大气流对加热刚玉管的冲击刚玉管的长时间使用温度<1750℃
● 对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉 管破裂,法兰飞出等)


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