1150℃三温区管式炉

 性能指标和基本配置

炉体结构

● 采用双层壳体风冷系统，工作时使得壳体表面温度<60°C。
● 采用高纯度氧化铝作为炉膛材料，保温性能极佳，最大限度减少热量损失。
● 通过触摸屏控制工作温度，真空度，水冷机组
● 在炉子底部安装有水冷和高真空机组
● 采用铰链水冷法兰，操作方便简洁

石英管尺寸

● 采用高纯度石英管
● 尺寸: 216 O.D x 206 I.D x 1300mm L  (8.5" O.D x 8.1" I.D x 51" L)
● 提示：石英管是损耗品，请点击左下方的图片查看相关细节
● 警告：石英管是易碎品，请妥善保管。人为损坏不在保修范围内。
● 标配两块氧化铝纤维管堵，用于阻挡管内的热辐射（加热炉在工作时必须放入管堵）
● 可选石英管堵，提高洁净度及真空度 

加热区

● 总加热区长度： 900 mm (36")
● 三个区: 300 mm + 300 mm + 300mm (12"每个加热区)
● 恒温区长度: 750 mm (三个温区可设置相同的温度，误差为+/- 2°C) 注：由于测量手段及外部环境的影响，测量结果可能会有偏差，此参数仅供参考不作为该设备的技术指标。您购买产品需要准确的恒温区数据，请与我公司销售人员联系

工作温度

● 最高工作温度 1150°C
● 连续工作: 200~1100°C
● 最大加热/冷却速率: 10°C/min

温度控制

● 配备一块触摸屏控制温度
● 三个加热区可分别设置30段升降温程序
● 控温精度+/- 1°C
● 每个温区都配备一个K型omega原装热电偶

真空泵系统

● 在炉子下方配备了一个数子分子泵系统
● 最高真空度可达10-5 torr
● 真空泵由触摸屏控制

真空系统及法兰

● 配备一对水冷密封法兰（铰链法兰）
● 左法兰配备：真空计和触摸屏控制的电磁阀（用于控制炉内气氛环境）
● 右法兰配备：KF40真空接口，用于连接真空泵接口上的电磁阀
● 法兰外端配备一个外径1/4"的热电偶插口，用于方便进行温度校准
● 炉子底部配备有一个16L/min水冷机，用于水冷法兰的供水

可选

● 可以另配混气系统用于CVD实验

额定电压

● 单相, 220V AC, 50/60 Hz
● 包括AWG 8#电源线

最大功率

12KW (需50A的空气开关 )

产品尺寸

● L 1700×W 750 × H1800mm

净重

250Kg

质保期

一年质保期，终身维护（炉管，密封圈，加热元件易耗件除外）

使用注意事项

● 炉管内气压不可高于0.02MPa
● 由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全
● 当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态
● 进入炉管的气体流量需小于200SCCM，以避免冷的大气流对加热石英管的冲击
● 石英管的长时间使用温度＜1100℃
● 对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉 管破裂，法兰飞出等）