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  • 1700℃三温区管式炉

1700℃三温区管式炉

产品型号:GSL-1700X-Ⅲ-60-120 

安装尺寸:1600 L x 500W x 700 H mm 

重量:约150Kg 

应用范围:GSL-1700X-Ⅲ-60-120是一款三温区高温管式炉,其炉管外径为 60mm ,每个加热区的长度为12" ,三个数字温度控制器可独立控制温度,并可设置30段升降温程序,温区1(加热区中心)采用Super-1800级的硅钼棒进行加热,当温度达到 1700°C时,另外两个温区用硅碳棒进行加热,当温度在1400°C时,此款管式炉可以形成一个温度梯度,调整三个温区的温度,在热梯度下制备功能材料,他是一款理想的设备,同时也适用于CVD法制作薄膜外延生长。

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产品简介 / Introduction

性能指标和基本配置

名称

1700℃三温区管式炉

炉体结构

● 采用双层壳体结构,并带有风冷系统,使表面温度低于70℃
● 内炉膛表面涂有高温氧化铝涂层可以提高设备的加热效率,同时也可以延长仪器的使用寿命

基本参数

● 热偶:B型(温区2)和S型(温区1、3)热偶
● 电源:三相AC380V,50Hz 最大10KW
● 工作温度:
温区1:长期1300℃(1400℃<1h)    建议升温速率:≤5℃/ min
温区2:长期1600℃(1700℃<1h)    建议升温速率:5℃/ min ( T< 1600℃); 2℃/ min ( T>1600℃)
温区3:长期1300℃(1400℃<1h)    建议升温速率:≤5℃/ min
● 加热区:加热区长度:630mm (三温区:190mm+250mm+190mm)

炉管尺寸

材料:刚玉管
Φ60×1200mm L

法兰

● 法兰上标配安装的是Φ8的宝塔嘴接头
● 为了获得较好的抽气速率可以配用KF25的转接头
● 为了较好地向炉管中通入气体可以配用1/4"的不锈钢卡套接头
提示:法兰配置多种可选具体请和销售沟通。

加热元件

● 温区1:4个U型SiC加热棒(30x300mm)
● 温区2:6个U型MoSi2加热棒(30x300mm)
● 温区3:4个U型SiC加热棒(30x300mm)

密封法兰

● 一对SS 304真空法兰与双高温硅O形环包括在内
● 两个针阀已分别安装在两个法兰上
● 一个真空压力表安装在一侧法兰
● 可选:您可以选购kf25真空口法兰
● 可选:您可以订购法兰支架

温控系统

● 包含一款YD518P型温度控制器
● PID自动控温系统
● 智能化30段可编程控制
● 控温精度:±1℃
● 三个温区分别有三个独立的温控系统控制
● 默认DB9 PC通信连接端口
● 可选购电脑温度控制软件(用于YD518P系列控制器)用于控制升温曲线和导出数据

温度校准(可选)

● 定期对管式炉进行温度校准,可保持温度的准确性和均匀性。您可以在我公司选购一个简单的校准工具包,辅助您完成这项工作,完整的校准套件包括
● 48”L(1/4”OD)K型热电偶校准
● 一Omega温度校准器
● 热电偶补偿线
● 你可以考虑分子泵,真空度可达10-5Torr

外形尺寸

1600 L x 500W x 700 H mm

净重

150Kg

质保期

● 一年保修,终身技术支持。
● 特别提示:1.耗材部分如加热元件,石英管,样品坩埚等不包含在内。
        2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。

真空系统

● 通过机械泵可达到50mTorr
● 通过分子泵泵可达到10E-5 Torr
● 可选购一个冷真空阱,以避免真空泵造成污染

使用注意事项

● 炉管内气压不可高于0.02MPa
● 由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,为了确保安全,建议使用压力低于0.02MPa,建议在本公司选购减压阀,本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全
● 当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当
● 进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的大气流对加热石英管的冲击
● 石英管的长时间使用温度<1100℃
● 对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉 管破裂,法兰飞出等)


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成功案例Success stories

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